T/FJAS 001-2024 濕電子化學品 再生丙二醇甲醚醋酸酯

【范圍】
本文件規定了再生丙二醇甲醚醋酸酯的技術要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。
本文件適用于以濕電子化學品行業含丙二醇甲醚醋酸酯回收液為原料，經過提純的丙二醇甲醚醋酸酯再生產品(以下簡稱產品)，主要用于顯示面板制造行業等。

【術語和定義】
下列術語和定義適用于本文件。
濕電子化學品  wet chemicals
濕電子化學品又稱超凈高純電子化學品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環節)中使用的各種液體化工材料。
丙二醇甲醚醋酸酯  1-methoxy-2-propyl acetate
丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)，分子式為C₆H₁₂O₃。在液晶顯示器制造行業，用于ARRAY和CF工段清洗稀釋等。
回收液  Iiquid recycIing
主要含有PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、酮類化合物、苯類化合物、乙氧基酯類化合物、甲氧基酯類化合物等雜質。

【技術要求】
產品的技術指標應符合表1的要求。


【試驗方法】
水分的測定
按 GB/T 6283 的規定進行測定。
GB/T 6283-2008 化工產品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)

【實驗儀器制備，推薦使用】水分的測定

京都電子KEM 容量法卡爾·費休水分測定儀 MKV-710S