T/CEMIA 032-2022 顯示面板用氧化層緩沖刻蝕液

●范圍
本標準規定了顯示面板用緩沖氧化物刻蝕液的術語和定義、縮略語、分類、要求、檢驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存和安全。
本標準適用于由氫氟酸水溶液、氟化銨水溶液和表面活性劑混配而成的緩沖氧化物刻蝕液，應用于顯示面板制造中氧化物層的刻蝕和清洗過程。

●術語和定義
本文件沒有需要界定的術語和定義。

●縮略語
下列縮略語適用于本文件。
BOE刻蝕液：緩沖氧化物刻蝕液。
PFA：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，又稱過氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。

●分類
顯示面板用BOE刻蝕液根據顯示面板客戶使用要求分為Ⅰ級和Ⅱ級。

●要求
外觀
無色透明液體。
主要化學成分
顯示面板用BOE刻蝕液的主要化學成分應符合表1的規定。


●表面張力
顯示面板用BOE刻蝕液的表面張力指標管控可由供應商與客戶協商決定。
顆粒數
顯示面板用BOE刻蝕液的顆粒數應符合表2的規定。


●非金屬雜質含量
顯示面板用BOE刻蝕液的非金屬雜質含量應符合表3的規定。


●金屬雜質含量
顯示面板用BOE刻蝕液的金屬雜質含量應符合表4的規定。


●檢驗方法
氫氟酸和氟化銨含量
按 SJ/T 11507-2015 中5.2"氟化銨和氫氟酸含量的測定"的規定進行。

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SJ/T 11507-2015 集成電路用氧化層緩沖腐蝕液

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